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除振装置
微細化、大型化への傾向が急速に進む半導体・液晶産業・・・。今日では、精密機器の設置に際して振動制御技術(除振技術)が、品質と生産性に直結するテクノロジーとして採用されていることは周知の事実です。21世紀初頭の半導体量産体制は、「ナノ(10-9 )テクノロジー時代」といわれ、振動制御の技術力のレベルが問われる時代に入っています。複雑な振動源対策や精密機器の特性に応じた除振対策など、豊富な実績を誇る特許機器では、ハイテク工場の全過程で発生する振動問題に対して、アクティブ除振技術を初めとする先進の技術で最適な解決策を提案しています。
卓上型 アクティブ除振台 CSMOS δTA


長年にわたる除振対策技術の蓄積と実績を元に開発された
δTA はエアーを必要としない小型除振システムです。
搭載装置重量にかかわらず、低域から高域の周波数まで、クラス
最高水準の除振性能を実現しました。
また、高い重心を持つ装置でも安定した除振効果を発揮します。


アクティブ除振装置
空気圧アクチュエータの採用により、除振性能はもちろん大出力の確保や 位置制御が容易に得ることが可能です。サイズは小さくても超高性能に働く 2は、絶縁、制振、復元、操作性それぞれに優れた効果を発揮することが出来ます。
また重量と用途に合わせ、15機種を標準で用意しておりますので搭載機器とのマッチングも申し分ありません。


パッシブ型除振台

ベース架台が組み込まれています。脚部間の空きスペースの有効利用やパネル取り付けの為の加工が可能となります。装置をただ搭載するだけではなく周辺装置を効果的に収納することが出来ます。

 
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