特許機器株式会社
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搭載機器の重さや重心位置に関係なく、低固有振動数を実現した高性能除振デスクです。
半導体、液晶基盤の大口径化、大基盤化に伴う検査装置の大型化、重量化に応じた豊富なラインナップをご用意しています。
使い易さ、低価格、豊富な機能を装備したシステムデスク型除振台の2機種です。
ユーザーズマインドを徹底的に追求した省力化設計です。
使いやすさと機能性を徹底的に追求した標準機種です。
自動レベリング方式と手動ポンプ補給式をご用意。
定盤部分にSUS304を使用し、レベル調整時に排気するエアーを集中回収することにより防塵対策に万全の配慮がなされております。
高剛性のハニカム定盤を採用。M6のタップが50mmピッチで加工されています。軽量でも剛性に優れているため光学実験用に適しています。
ゴム式の簡易型除振台です。
標準タイプとクリーンルーム対応型をご用意しています。
高剛性のスチールハニカム定盤を採用し上面にはM6のタップが加工されています。定盤部は石、鋳鉄定盤に変更出来ます。
電子顕微鏡や各種露光機、検査装置のパッシブ除振基礎です。
設置環境、搭載装置に合わせて設計致します。
世界に先駆けて微振動アクテイブ制御技術を開発してきた特許機器が、パッシブ除振の領域にも新たなページを加えた革新的パッシブユニットです。
 
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