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  従来のダイヤフラム型空気ばねに変わり、SSR 新除振機構を採用し、搭載機器の重さや重心位置に関係なく低固有振動数を実現することが可能となりました。

EHS-68 ( 下部棚 オプション付き )

DHS-68 ( 下部棚 オプション付き )
  ※ DHS シリーズは EHS シリーズにワークカバーをセットしたモデルです。フロート部に触れる事を気にせず作業ができます。
EHS 型 仕様表
型式 EHS-68 EHS-78 EHS-87 EHS-107
固有振動数 (Hz) 鉛直方向 1.6 〜 2.2  水平方向 1.2 〜 1.8
除振方式 空気ばね及び、スイングボール支持方式 ( PAT .P/USP )
レベリング方法 メカニカルバルブによる自動レベリング方式
空気供給圧 (MPa) 0.4
フロート部 SUS304 研磨仕上げ
除振台外形寸法
(W×D×Hmm)
600×800
×750
700×800
×750
800×700
×750
1,000×700
×750
製品重量 (kg) 170 190 190 220
定盤寸法 (W×Dmm) 600×800 700×800 800×700 1,000×700
搭載許容重量 (kg) 120
付属品 φ6 ウレタンチューブ 3m、クイック継ぎ手 PT1/4 オス、4個口 コンセント
その他 クリーンルーム内使用可能 ( 集中排気機構、静電気防止用アース機構付き )
RoHS 指令対応
納期 40 日
* 定価 \ 480,000.- \ 520,000.- \ 520,000.- \ 550,000.-
 
DHS 型 仕様表
型式 DHS-68 DHS-78 DHS-87 DHS-107
固有振動数 (Hz) 鉛直方向 1.6 〜 2.2  水平方向 1.2 〜 1.8
除振方式 空気ばね及び、スイングボール支持方式 ( PAT .P/USP )
レベリング方法 メカニカルバルブによる自動レベリング方式
空気供給圧 (MPa) 0.4
フロート部 SUS 304 研磨仕上げ
除振台外形寸法
(W×D×Hmm)
650×850
×750
750×850
×750
850×750
×750
1,050×750
×750
製品重量 (kg) 175 195 195 225
搭載許容重量 (kg) 120
定盤寸法 (W×Dmm) 600×800 700×800 800×700 1,000×700
付属品 φ6 ウレタンチューブ 3m、クイック継ぎ手 PT1/4 オス、4個口 コンセント
その他 クリーンルーム内使用可能 ( 集中排気機構、静電気防止用アース機構付き )
RoHS 指令対応
納期 40 日
* 定価 \ 560,000.- \ 600,000.- \ 600,000.- \ 630,000.-
 
オプション ( EHS / DHS 型用)
オプション 下部棚 耐震用固定金具
納期 40 日
* 定価 \ 35,000.- \ 10,000.- / 1ケ
* 注) ・搭載装置の重心位置が、短面支持寸法 1/2 の高さを超える場合は当社までご相談ください。
・別途運送費が発生する場合がございます。詳しくは弊社までお問い合せください。
・掲載しております価格は日本国内販売向けの定価です。またご購入に際しては消費税を別途請求させて頂きます。
 
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