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電車、自動車、エレベータなどの磁性体の通過や電源などが原因である磁場変動は、電子顕微鏡のような電子ビーム応用装置などに悪影響を及ぼします。AMC-330は任意方向の磁場変動を高感度磁場センサ及びデジタルコントローラで検出し、ヘルムホルツコイルを用いて逆位相の磁場を発生させることで磁場変動を抑制するシステムです。
■ 変動磁場の原因
・磁性体の移動によるもの(自動車、エレベータ、電車など) ・電源ノイズ(50 or 60 Hz) 
・周辺機器の影響
■ヘルムホルツコイル
同じ巻数で直列に接続し、平行に配置したコイルのこと。
電流を流すとコイルの軸方向に磁場が発生する性格がある。
■ 高性能
・最大40〜60dBの優れた減衰性能
■ 低コスト
・シールドによる磁場対策に比べ約1/10のコストを実現  
■ 簡単施工
・装置周辺にコイルを固定するだけの簡単施工

制御方式:直流代表値制御+各軸独立フィードバック制御
制御範囲:±3μT(認定可)
制御周波数:準DC〜1kHz
減衰率:40〜60dB
■ 走査型電子顕微鏡(SEM) ■ 透過型電子顕微鏡(TEM) ■ 集束イオンビーム(FIB)
■ 質量分析装置(MASS) ■ 電子ビーム描画装置(EBL) ■ マスク検査装置 ■ ウエハー観察測長SEM
■ 構成
(1)磁場発生用コイル (2)磁場センサ (3)コントローラ(DJ-155) (4)ドライバ(LD-155)
※モニター用パソコンは商品に含まれていません。
※ケージ(コイルカバー)は、対象機の仕様やお客様のご要望で異なります。
ケージはオプションにて対応しておりますので、別途ご用命ください。
 
 
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