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卓上型 アクティブ除振台 δTA
 近年、半導体・液晶産業では微細化される一方で、生産ラインの製造 / 検査装置は生産効率の向上を図る
 ために大型化・高速化へと推進しています。αシリーズは優れた除振性能はもちろん、大荷重に対応でき、
 搭載ステージによる過度応答を素早く除去する制振性能を実現します。
 
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 特長
  ● 搭載装置重量に合わせたαシリーズのウェイトリフティング術
      ・ 4ユニットで 720kg 〜 23.2t の装置までしっかり支えます。
      ・ ユニット数を増やすことで超大荷重装置を搭載できます。
 
 用途
  ● 装置の要求に合わせた 3タイプ
     ・ 除振性能を重視した装置 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ L タイプ
     ・ 除振、制振性能が応分に必要な装置 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ M タイプ
     ・ 制振性能を重視した装置 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ H タイプ
 
   振動伝達特性                        制振性能
 
 仕様
 
 
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