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パッシブデスク型防振台
天吊空調設備スプリング防振スリムハンガー HSS
空圧アクティブ微振動制御ユニット
デスク型防振 低固有値デスク型防振台EHS
当社のアクティブ除振で培われた独自の除振技術、スイングボール(SBM)機構を小型にした、新型空気ばねを採用。低固有値デスク型除振台です
デスク型防振 低固有値デスク型防振台EHS
用途 膜厚、段差計測、線幅、測長計測、
レーザー干渉計測、その他 計測機器
特長   水平方向支持機構に『SBM機構』(PAT.P/USP)を採用。水平方向の低固有値化を実現。
  搭載機器の重量に関係なく水平方向固有振動数をほぼ一定にすることが可能になりました。
水平、垂直と方向別に除振機構を分離。ローリングモードの抑制につながりました。
除振性能
低固有値でありながら100Hzまでモードの発生を抑え安定した除振性能が得られます。
防振性能表
 
 
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