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高減衰パッシブ防振マウント
マルチ対応高性能スプリング防振ユニット
空圧アクティブ微振動制御ユニット
空圧アクティブ微振動制御ユニットα
微振動制御のスタンダードαシリーズにパワークラスが新登場優れた除振性能はもちろん、大荷重に対応でき、搭載ステージによる過度応答に素早く対応します。

特長

ペイロード6tonアクチュエータを標準化
高速・高制振空圧制御対応
性能  
 
 
 
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